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● 最快100 points/sec 的高速檢測(cè)與與探測(cè)精度的提高
● 10 V 的電壓下，絕緣測(cè)試量程高達(dá)100GΩ
● 檢測(cè)探針卡基板的理想之選

FA1815-20產(chǎn)品介紹視頻

飛針測(cè)試機(jī)FA1815-20，用于檢測(cè)尖端IT技術(shù)中使用的高精度基板。FA1815-20的速度最快高達(dá)每秒100點(diǎn)，探針定位精度高，在10V電壓下可測(cè)試高達(dá)100 GΩ的絕緣電阻。它縮短了以探針卡為代表的高精度基板的檢測(cè)時(shí)間，并通過(guò)消除潛在缺陷實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量，從而為提高半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)率做出了貢獻(xiàn)。

■ 規(guī)格概要

手臂數(shù)	4（上面2，下面2）
可安裝探針	1172系列，CP1072系列，CP1073系列
測(cè)試步數(shù)	4,000,000步
測(cè)試項(xiàng)目?測(cè)量范圍	直流定電流導(dǎo)通測(cè)試	400.0 mΩ?1.000 kΩ
	直流定電流電阻測(cè)試	40.00 μΩ?400.0 kΩ
	直流定電壓電阻測(cè)試	4.000 Ω?40.00 MΩ
	絕緣電阻測(cè)試	1.000 kΩ?100.0 GΩ
	低電壓絕緣電阻測(cè)試	1.000 MΩ? 100.0 GΩ
	交流定電壓靜電電容測(cè)試	100.0 fF?10.00 μF
	漏電流測(cè)試	1.000 μA?100.0 mA
	高電壓電阻測(cè)試	1.000 kΩ?100.0 GΩ
	電容器絕緣測(cè)試	1.000 kΩ?250.0 MΩ
	開(kāi)路測(cè)試	4.000 Ω?4.000 MΩ
內(nèi)埋元件基板測(cè)試	短路測(cè)試	400.0 mΩ ～ 40.00 kΩ
	LSI 連接測(cè)試	0.000 V?12.00 V
	交流定電壓電阻測(cè)試	10.00 Ω?100.0 kΩ
	交流定電壓電容測(cè)試	10.00 pF?100.0 μF
	交流定電壓電感測(cè)試	1.000 μH?1.000 mH
判定范圍	-99.9%?+999.9%, 或絕對(duì)值
移動(dòng)最小分辨率	XYZ：0.1?μm
最小焊盤(pán)間距	上面：34 μm（使用CP1075-09時(shí)）下面：44 μm（使用CP1075-09時(shí)）
最小焊盤(pán)尺寸	上面：4 μm（使用CP1075-09時(shí)）下面：14 μm（使用CP1075-09時(shí)）
測(cè)試速度	Max. 100 points/s (0.15 mm移動(dòng)?4手臂同時(shí)探測(cè), 電容法測(cè)試時(shí))
可測(cè)試基板尺寸	板厚: 1?12 mm, 尺寸: 50W × 50D?340W × 340D mm
最大可測(cè)試區(qū)域	340W × 340D mm
基板固定	通用基板固定治具或者電容測(cè)試真空吸盤(pán)（選件）
所用空氣	一次側(cè)壓力0.5MPa ～ 0.99MPa（干燥空氣）最大耗氣量0.3L/min（ANR）
電源	AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V單相 (訂貨時(shí)指定) 50/60 Hz, 5 kVA
體積?重量	1355W × 1190H × 1265D mm (凸起部除外), 1100 kg±50 kg